氣動執(zhí)行機構是以壓縮空氣為動力，實現(xiàn)對電動閥門的控制，具有結構簡單、動作可靠、性能穩(wěn)定、維修方便、防火防爆，并且易于制成較大推力的執(zhí)行機構、價格便宜、檢修維護簡單，對環(huán)境的適應性好等優(yōu)點。缺點是實現(xiàn)控制必須敷設專用的氣源管道，對于雙作用的氣動執(zhí)行器，斷氣源后不能回到預設位置；單作用的氣動執(zhí)行器，斷氣源后可以依靠彈簧回到預設位置。氣動執(zhí)行機構按照控制氣壓轉換成位移的方式不同，可分為薄膜式、活塞式和齒輪齒條式。
 

氣動薄膜執(zhí)行機構是最常用的執(zhí)行機構，氣動薄膜執(zhí)行機構的結構簡單，動作可靠，維護方便，成本低廉，得到廣泛應用。它分為氣開式和氣關式兩種執(zhí)行方式。氣開式執(zhí)行機構在輸入信號增加時，在薄膜膜片下方產(chǎn)生一個推力，克服彈簧的作用力后而將閥門打開。氣關式執(zhí)行機構在輸入信號增加時，在薄膜膜片上產(chǎn)生一個推力，克服彈簧的作用力后而將閥門關閉。氣動活塞式執(zhí)行機構，以控制氣作為動力，推動活塞在汽缸里運動，輸出軸產(chǎn)生轉角位移或直行程位移，活塞式執(zhí)行機構可在活塞上施加較大的控制氣壓，所以可做成比薄膜執(zhí)行機構更大推力或更大力矩的執(zhí)行機構，而且，其相對的體積還可以做得較小。

齒輪齒條式(雙活塞齒條式)氣動執(zhí)行器，具有結構緊湊，外觀優(yōu)美，反應迅捷，運行穩(wěn)定，使用壽命長等特點。所有配件都采用最先進的防腐蝕處理技術，能適應各種惡劣工況。其高低溫以及各種特殊行程的執(zhí)行器在各種應用領域都有良好的表現(xiàn)。當壓縮空氣從A管咀進入氣動執(zhí)行器時，氣體推動雙活塞向兩端(缸蓋端)直線運動，活塞上的齒條帶動旋轉軸上的齒輪逆時針方向轉動90 度，閥門即被打開。此時氣動執(zhí)行閥兩端的氣體隨B 管咀排出。反之，當壓縮空氣從B官咀進入氣動執(zhí)行器的兩端時，氣體推動雙塞向中間直線運動，活塞上的齒條帶動旋轉軸上的齒輪順時針方向轉動90度，閥門即被關閉,此時氣動執(zhí)行器中間的氣體隨A管咀排出。

電動執(zhí)行器在工業(yè)控制系統(tǒng)中是電動單元組合儀表中一個很重要的執(zhí)行單元。電動執(zhí)行器一般由控制電路和執(zhí)行機構兩個在電路上完全獨立的部分組成，可接收來自DCS 系統(tǒng)的控制信號，將其線性地轉換成機械轉角或直線位移，用來操作風門、擋板、閥門等調(diào)節(jié)機構，以實現(xiàn)控制。優(yōu)點是能源取用方便，信號傳輸速度快，傳輸距離遠，便于集中控制，靈敏度和精度較高，與電動調(diào)節(jié)儀表配合方便，安裝接線簡單。缺點是結構復雜，平均故障率高于氣動執(zhí)行機構，適用于防爆要求不高，氣源缺乏的場所。按照輸出的軸運動方式分為直行程和角行程兩種。
　直行程電動執(zhí)行器輸出軸作直線運動，以其推力來表示執(zhí)行機構作功能力的大小。
 
　　1.角行程電動執(zhí)行器轉角<360 度角行程電動執(zhí)行器輸出軸為角位移，用轉動力矩來表示執(zhí)行機構作功能力的大小，輸出軸的轉動小于一周，即小于360 度，通常為90度實現(xiàn)閥門的啟閉過程控制。
 
直行程電動執(zhí)行器輸出軸作直線運動，以其推力來表示執(zhí)行機構作功能力的大小。
應用范圍：電動執(zhí)行機構是以電動機作為動力的執(zhí)行機構，在電廠熱力設備自動控制中得到廣泛的用。
液動執(zhí)行器是以液壓油為動力完成執(zhí)行動作的一種執(zhí)行器。液動執(zhí)行器的實際應用在三種執(zhí)行器（電動、氣動、液動）中最低，只有一些大型工作場合,才會使用到液動執(zhí)行器。
 
　　液動執(zhí)行器的優(yōu)點：
 
　　液動執(zhí)行器的輸出推動力要高于氣動執(zhí)行器和電動執(zhí)行器，且液動執(zhí)行器的輸出力矩可以根據(jù)要求進行精確的調(diào)整。液動執(zhí)行器的傳動更為平穩(wěn)可靠，有緩沖無撞擊現(xiàn)象，適用于對傳動要求較高的工作環(huán)境。液動執(zhí)行器的調(diào)節(jié)精度高、響應速度快，能實現(xiàn)高精確度控制。液動執(zhí)行器是使用液壓油驅(qū)動，液體本身有不可壓縮的特性，因此液壓執(zhí)行器能輕易獲得較好的抗偏離能力。由于使用液壓方式驅(qū)動，在操作過程中不會出現(xiàn)電動設備常見的打火現(xiàn)象，因此防爆性能要高于電動執(zhí)行器。
 
　　液動執(zhí)行器的缺點：
 
　　液動執(zhí)行器的工作需要外部的液壓系統(tǒng)支持，運行液壓執(zhí)行器要配備液壓和輸油管路，這造成液壓執(zhí)行器相對電動執(zhí)行器和氣動執(zhí)行器來說，一次性投資更大，安裝工程量也更多，因此只有在較大的工作場合，DEH 系統(tǒng)，才使用液動執(zhí)行器。